Película delgada uniforme El óxido de lata de indio (ITO), el óxido de zinc dopado con aluminio (azo), el óxido de zinc (ZnO) y las capas de óxido dopado con flúor generalmente se producen mediante tecnología de pirólisis de pulverización ultrasónica. Este proceso único requiere equipos de recubrimiento especializados para crear el grosor y la forma de recubrimiento necesarios, y para rociar soluciones corrosivas en entornos de alta temperatura.
Durante la pirólisis de pulverización ultrasónica de alta temperatura, la solución precursora (como el óxido de zinc de aluminio) se rocía sobre el sustrato calentado a aproximadamente 300-500. El disolvente se evapora durante el transporte, y una película de cristal de ZnO crece en la superficie del sustrato, generalmente calcio de sodio u otro vidrio. La temperatura del sustrato generalmente determina las características morfológicas de la película.
La deposición húmeda de pulverización ultrasónica proporciona a los fabricantes una alternativa rentable a la deposición y la pulverización del vacío, con mayor eficiencia de transferencia. El tamaño de la gota generado por la boquilla de atomización ultrasónica es altamente uniforme, lo que puede lograr el tamaño óptimo de las gotas para la reacción de pirólisis, y todas las gotas reaccionarán simultáneamente de la misma manera durante el proceso de deposición. Ya sea que se trate de investigación y desarrollo o producción en masa, esto traerá procesos de producción de TCO eficientes.
El uso de la boquilla ultrasónica funsonic supera el desafío del proceso de rociar ácidos altamente corrosivos. La boquilla está hecha de materiales estructurales resistentes a la corrosión y tiene las propiedades de ningún bloqueo, repetibilidad y larga vida. Incluso puede rociar ácido clorhídrico altamente corrosivo o soluciones de ácido hidrofluorico.
Ventajas del sistema de pirólisis de pulverización ultrasónica para el recubrimiento TCO:
1. Comparado con el proceso de CVD (deposición de vapor químico), la pirólisis de pulverización ultrasónica es simple, flexible y rentable.
2. Experiencia de recubrimiento de TCO probada.
En comparación con otros métodos de pulverización, las boquillas ultrasónicas pueden depositar más capas uniformes.
4. Parámetros de recubrimiento fáciles de ajustar y repetibles.
5. Tecnología de boquilla ultrasónica patentada totalmente integrada y entrega de líquidos, proporcionando una solución de recubrimiento completa.
Los procesos alternativos a baja temperatura en aerosol (250 grados y menos) están constantemente emergiendo, y se han llevado a cabo más investigación y desarrollo sobre productos químicos que no necesitan sustratos objetivo de alta temperatura.
