Introducción de la boquilla ultrasónica de dispersión

 

Las boquillas de dispersión usan aire/gas de baja presión para producir patrones de pulverización uniformes y anchos, con cada boquilla capaz de hasta 9.8 pulgadas (25 centímetros), dependiendo de la distancia del sustrato. La velocidad del flujo de aire es controlable para permitir un impacto bajo o alto del aerosol atomizado en el producto o sustrato. Múltiples boquillas conectadas en series pueden alcanzar un ancho infinito. El diseño de boquilla de dispersión se usa para patrones anchos altamente repetibles en boquillas delgadas.

La boquilla ultrasónica de tipo dispersión es una boquilla de atomización ultrasónica con un spray de cono de ciclón. Utiliza la tecnología de la boquilla de atomización ultrasónica, y a través del diseño especial del canal de flujo de vórtice, el gas portador se convierte en un flujo de aire giratorio uniforme, de modo que la atomización ultrasónica de la niebla líquida se dispersa en forma de un spray de ciclón, expandiendo el aerosol. área del atomizador. Las boquillas ultrasónicas también se pueden rociar en superficies verticales o curvas y otros sustratos angulares.

La aplicación típica de las boquillas ultrasónicas de dispersión es el recubrimiento fotorresistente en chips de semiconductores, donde se rocía fotorresistentes sobre las chips de semiconductores. Debido a la dispersión rotacional de la niebla emitida por la boquilla ultrasónica de tipo de dispersión, se puede formar una película fotorresistente uniforme no solo en el plano de la oblea, sino también en las paredes laterales y las esquinas de la microestructura de la oblea. Además, la boquilla ultrasónica del tipo de dispersión también se puede usar para recubrimientos de células solares de película delgada, recubrimientos de células solares de titanato de calcio, revestimientos de transmisión AR y películas de reflexión, recubrimientos de películas de aislamiento térmico, recubrimientos de recubrimiento superhidrofóbicos, recubrimientos de flujo de PCB y otras aplicaciones.

 

 

Principio:

 

Las boquillas ultrasónicas convierten las ondas de sonido de alta frecuencia en energía mecánica a través de transductores piezoeléctricos, y luego convierte la energía mecánica en líquido. Esta vibración longitudinal hacia arriba y hacia abajo genera ondas estacionarias en la película líquida en la punta de la boquilla ultrasónica, donde la amplitud de estas ondas puede ser controlada por un generador de potencia. Estas ondas líquidas estacionarias pueden extenderse hacia arriba desde la parte superior de la boquilla ultrasónica, y cuando las gotas dejan la superficie atomizante de la boquilla, se descomponen en una niebla fina uniforme de gotas de tamaño micrométrico.

A diferencia de las boquillas de presión, las boquillas ultrasónicas no usan alta presión para forzar el líquido a través de un pequeño orificio para producir spray. El líquido ingresa a través de un centro de boquilla relativamente grande sin presión y está atomizado por vibración ultrasónica dentro de la boquilla.

Cada boquilla ultrasónica funciona a una frecuencia resonante específica, lo que determina el tamaño medio de la gota. La diferencia en el tamaño de las gotas es muy pequeña, y su distribución se puede predecir con precisión dentro de un cierto rango a través de cálculos matemáticos. Por ejemplo, una boquilla de 120 kHz produce un tamaño mediano de gotas de 18 micras al rociar agua. Cuanto mayor sea la frecuencia, menor es la disminución en el valor medio.

 

 

Ventaja:

 

1. Pulverización de superficie grande, pulverización del ancho: 40-150 mm

2. Coating uniformity:>95% de uniformidad

3. Guardar materias primas: la tasa de utilización de las materias primas es superior al 85%, que es cuatro veces mayor que la de las dos pulverizaciones de fluidos tradicionales

4. Se pueden preparar un control de alta precisión del grosor de recubrimiento: 20 nm a decenas de micrómetros de recubrimiento, con un control preciso del grosor de recubrimiento

5. partículas atomizadas finas

6. Partículas uniformemente atomizadas

7. Se puede rociar intermitentemente o continuamente

8. Flujo de pulverización ultra bajo

9. No bloqueará la boquilla

10. Boquilla anti corrosión

11. Pulverización controlable de alta precisión