Máquina de recubrimiento por pulverización ultrasónica para aplicaciones de semiconductores y fotoprotectores
En la fabricación de semiconductores, la aplicación de fotoprotectores, poliimidas y otras películas delgadas funcionales requiere una precisión absoluta. Incluso las variaciones microscópicas en el espesor de la película pueden provocar fallas catastróficas en los componentes. Utilizando un avanzadoMáquina de recubrimiento por pulverización ultrasónica permite a los fabricantes de semiconductores lograr recubrimientos de película delgada-muy uniformes en topografías complejas, incluidas zanjas profundas y microestructuras-de alto-relación de aspecto que el recubrimiento por rotación tradicional no puede cubrir de manera efectiva.
Superar las limitaciones del recubrimiento por centrifugación
Si bien el recubrimiento por rotación es un proceso estándar en la industria, tiene dificultades inherentes con sustratos no-planos, sustratos cuadrados u obleas con cavidades profundas, lo que a menudo genera cordones de bordes desiguales o bolsas vacías. Una máquina moldeadora de pulverización con boquilla ultrasónica resuelve este problema al entregar una niebla atomizada altamente controlada directamente sobre las áreas objetivo. El rocío suave y de baja-velocidad permite que el líquido se asiente uniformemente dentro de las micro-ranuras sin dejar bolsas de aire ni provocar acumulación de material.
Diseñado para entornos de salas limpias de alta-confiabilidad
La producción de semiconductores requiere equipos que funcionen de manera confiable en estrictas condiciones de sala limpia.FUNSONICOdiseña y fabrica equipos ultrasónicos de grado comercial-que se integran perfectamente en líneas automatizadas de procesamiento de obleas. Nuestros sistemas están construidos con materiales de alta-pureza para evitar la contaminación química y garantizar una dinámica de fluidos constante durante ciclos de producción largos.
FUNSONICOproporcione modelos estándar, así como configuraciones personalizadas para adaptarse al espacio de su sala limpia, los requisitos de viscosidad del líquido y el rendimiento objetivo. Permítanos ayudarlo a maximizar el rendimiento de sus obleas y reducir el costoso consumo de químicos.
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