Sistema de capa de pulverización ultrasónico de poliimida y fotorresistente con boquilla micro

 

 

Se ha demostrado que el sistema de pulverización ultrasónica es adecuado para diversas aplicaciones que requieren recubrimientos de película fotorresistente o de poliimida uniformes y repetibles, y es un proceso de recubrimiento de poliimida y fotorresistente simple, económico y reproducible.
Las aplicaciones comunes de los recubrimientos ultrasónicos fotorresistentes y de poliimida incluyen, entre otras, MEMS, lentes, dispositivos de microfluidos, microelectrónica y filtros. Los sistemas de recubrimiento son capaces de recubrir sustratos planos y 3D, que generalmente incluyen chips de silicio, vidrio, cerámica y metales.

 

 

 

 

 

La boquilla ultrasónica es un dispositivo de sintonización basado en una resonancia de frecuencia específica. Su longitud y diámetro máximos son inversamente proporcionales a la frecuencia de resonancia, con un rango de frecuencia entre 25 y 120 kHz; Es decir, cuanto mayor sea la frecuencia ultrasónica, más pequeño será el transductor y también disminuirá el tamaño medio de la gota generada por la atomización con boquilla.

La boquilla ultrasónica consta de varias partes. El componente impulsor incluye un par de transductores piezoeléctricos que convierten la energía eléctrica en movimiento mecánico. El suministro de energía de alta-frecuencia proviene de un generador separado que puede bloquearse en la frecuencia de resonancia de la boquilla. El transductor está ubicado entre dos cilindros de titanio, que amplifican el movimiento de vibración del transductor para maximizar su efecto en la superficie de atomización. Elegimos el titanio como material porque tiene una alta resistencia a la tracción, buenas propiedades acústicas y una excelente resistencia a la corrosión.

El líquido se transporta a la superficie de atomización a través de un canal-de gran diámetro a lo largo de toda la boquilla. Una vez que el líquido alcanza la superficie de atomización, encontrará vibraciones de alta amplitud que lo rompen en pequeñas gotas que se mueven a bajas velocidades (menos de 3 pulgadas/segundo). Para lograr este efecto, la potencia de la aplicación debe mantenerse dentro de un margen relativamente estrecho. Una potencia demasiado baja hará que la boquilla deje de funcionar, es decir, no se producirá la atomización; Si la electricidad es demasiado alta, el líquido se romperá en pedazos grandes, lo que ya no es apropiado para atomizar. Por lo general, la potencia de funcionamiento de la boquilla varía entre 1 y 15 vatios, dependiendo de la gráfica exacta y la dirección del líquido rociado.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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