Tecnología de pulverización ultrasónica para deposición de vapor de vacío

El sistema de pulverización de atomización ultrasónica se utiliza para la integración en una cámara de vacío. A través de experimentos, se ha demostrado que el diseño único del sistema de pulverización de atomización ultrasónica puede integrarse en una plataforma sellada al vacío, adecuada para aplicaciones como la deposición de vapor de polímeros (PVD) y la deposición de vapor químico orgánico de metal (MOCVD). La atomización característica de baja velocidad generada por el sistema de pulverización de atomización ultrasónica puede producir una nube de vapor con una distribución de gotas ajustadas y un tamaño de gota controlado por frecuencia. Debido al hecho de que las boquillas de atomización ultrasónica funcionan al convertir las ondas de sonido de alta frecuencia en vibraciones mecánicas, el líquido en contacto con la superficie de la boquilla se atomiza sin agregar aire o gas, por lo que la integridad de la cámara de vacío no se debilita durante el proceso de pulverización.

La tecnología del generador ultrasónico integrada en el sistema de pulverización de atomización ultrasónica proporciona la energía eléctrica necesaria para la atomización y está equipada con una función de equilibrio de carga avanzada, que puede ajustarse automáticamente para adaptarse a diferentes condiciones de vacío, manteniendo así las características de pulverización más estables durante el proceso de depósito de vacío.

El sistema de pulverización de atomización ultrasónica es adecuado para entornos de vacío de alta temperatura y tiene una función de monitoreo de capacidad de enfriamiento y temperatura para garantizar una protección térmica adecuada.

Ventajas de la aplicación de la cámara de vacío:

• Dispositivos electrónicos diseñados para el equilibrio de carga
• Protección y monitoreo de alta temperatura
• Diseño de restricción de flujo de líquido de condición de vacío única
• La atomización se genera en ausencia de aire/gas, manteniendo la integridad del vacío