Plataforma de adsorción al vacío con calefacción microporosa de cerámica

 

 

La plataforma de adsorción al vacío se puede utilizar junto con la máquina de pulverización ultrasónica FUNSONIC, especialmente adecuada para sustratos finos, obleas, láminas y recubrimientos de película fina. En estas aplicaciones, se ha mejorado el control sobre el sustrato para lograr el espesor y la uniformidad del recubrimiento requeridos. La plataforma de calentamiento por adsorción se puede programar para calentar el sustrato a 150 grados -500 grados. La plataforma calefactora por adsorción al vacío tiene materiales como aleación de aluminio, aleación de titanio y acero inoxidable de alta temperatura para elegir.

 

 

 

 

1. La superficie superior de la mesa calefactora se distribuye con orificios circulares de vacío rectangulares o especificados por el cliente, y el tamaño del diámetro también se puede personalizar según los requisitos del cliente.

2. Hay dos formas de aspirar, pretendiendo ser un generador de vacío internamente para lograr una presión negativa de vacío; Interfaz externa reservada, a adquirir por el cliente para la instalación de la máquina de vacío

3. Adoptar un instrumento de control de temperatura digital de alta-calidad, con alta precisión, operación segura, simple, clara y conveniente.

4. Adoptar bobinas calefactoras eléctricas de acero inoxidable de alta-calidad, mantenimiento fácil y rápido y baja tasa de fallas.

5. La cavidad interior se puede bombear a un estado de presión negativa, de modo que los pequeños orificios circulares en la superficie tengan la función de adsorber productos de película plana.

6. Controlado por microcomputadora y microcontrolador, temperatura constante automática, utilizando la industria electrónica para operaciones de sellado y dispensación.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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